超高纯特气双层管道施工工艺
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发布时间：2024-10-23 22:31
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时间：2024-11-10 22:00
半导体与太阳能薄膜工艺所需超高纯特气包括硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷、六氟化钨、高纯氨等，这些气体特性特殊，对产品品质与人员安全至关重要。此类气体输送管道采用不锈钢双层结构，施工时要求极高，包括作业环境洁净度、管材洁净度、焊接与安装质量。本文提出几点建议，供同行参考。
工艺原理采用水平15°倾斜摆放加工，使用99.9999%高纯氮气吹扫，不锈钢弹簧填充双层管夹层，通过专用弯管装置进行加工。焊接与连接采用纯氩（99.9999%）保护的全自动轨道氩弧焊和柔性金属垫片端面密封，结合氦气检漏技术，确保管道洁净度、密闭性、弯管质量及焊接安装质量。
加工安装操作要点包括洁净区域管制，现场建立三段预制加工洁净区域，确保管件加工洁净度。管口加工需在洁净环境中进行，确保无有害痕迹、破损，管道开封前做好冲氮准备。弯管加工时使用不锈钢弹簧圈确保内外管的真圆度。自动焊接施工需及时保护半成品与成品，对口必须正方紧密连接，使用内充氩保护，焊接时电流稳定，速度均匀一致。焊接完成后清除焊接区氧化膜。
管道与配件设备连接采用金属垫片面密封接头（VCR），确保密封严密。管道安装采用增加末端滑套的安装方式实现密封，使外层套管形成整体。此施工技术在超高纯特气双层管道中应用，可确保管道质量与人员安全，对产品品质提供重要保障。
