中国买不到的光刻机，自己能够研制吗？

发布网友发布时间：2022-04-21 22:03

共5个回答

热心网友时间：2023-07-18 05:02

当前中国有能力自己生产光刻机，上海微电子装备有限公司通过十七年的“卧薪尝胆”，持续攻关，基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术，实现了“用中国人的光刻机造中国芯”的梦想。

光刻机是一个由几万个精密零件、几百个执行器传感器、千万行代码组成的超复杂思维系统，要制造出光刻机，不仅仅需要科学技术上的攻关突破，还需要将大量的技术集成起来。

扩展资料：

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。

国外品牌主要以荷兰ASML（镜头来自德国），日本Nikon（intel曾经购买过Nikon的高端光刻机）和日本Canon三大品牌为主。位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

参考资料来源：人民网——上海微电子的光刻机诞生之路

热心网友时间：2023-07-18 05:02

当前中国肯定是有自己的能力生产光刻机的，只是技术确实跟人家有一定的差别，这个也是没办法的，毕竟在这种高端科技上确实有差距的，只能慢慢的缩短距离

热心网友时间：2023-07-18 05:03

当然能， low-end的肯定没问题，问题是谁会要买呢？都没市场了。别说光刻机整机了，就是2nd source的parts价格便宜一半以上了吧？质量和售后如何？用的话也要掂量掂量。光刻机的lens还没听说有换2nd source的呢。

热心网友时间：2023-07-18 05:03

有的，在上海smee公司能够生产90纳米工艺的光刻机，处于光刻机低端产品，望采纳

热心网友时间：2023-07-18 05:04