专利名称：抗龟裂ITO导电玻璃的制作方法专利类型：发明专利
发明人：陈绪强,詹重庆,聂星保,吴敏艺申请号：CN201910895453.8申请日：20190921公开号：CN110642527A公开日：20200103
摘要：本发明公开一种抗龟裂ITO导电玻璃的制作方法，包括步骤：S1，提供玻璃基板，使用乙醇和/或丙酮中的至少一种作为溶质，以及去离子水作为溶质的载体，以超声波对玻璃基板进行清洗，辅以N气体吹干备用；S2，将玻璃基板置于射频磁控溅射镀膜设备的真空溅射腔室中，压强为9.0x10‑3.5x10Pa，然后注入氧气和氩气，其中氩气流量占比大于99％，镀膜时玻璃基板的温度为300‑450℃，溅射气压为0.3‑1Pa，镀膜功率为100‑175W，阻挡层包括NbOx层、SiNx层以及SiO层，在玻璃基板的一面依次镀上NbOx层、SiNx层以及SiO层；S3，在所述阻挡层表面镀上氧化铟锡。本发明的有益效果是：有效阻挡玻璃基板中的金属离子迁移到ITO层，防止ITO层发生翘曲形成龟裂，从而提升液晶屏使用寿命。
申请人：精电(河源)显示技术有限公司
地址：517000 广东省河源市河源大道南128号
国籍：CN
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